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靠活塞往複運動使泵腔(氣缸)的工作容積周期性地變化來抽氣的真空泵,又稱活塞真空泵。往複真空泵的結構與往複活塞壓縮機相似。工作時,吸氣管接被抽真空容器,排氣管直通大氣。往複真空泵抽氣量較大,抽氣速率範圍為每小時45~20000立方米,單級泵極限壓力約為103帕,雙級泵可達1帕。往複真空泵可用於真空蒸餾、真空濃縮、真空結晶、真空過濾、真空幹燥和混凝土真空作業等。在泵的吸氣口處若安裝冷凝器,可抽除含水蒸汽的氣體;若安裝過濾器,則可抽除含塵氣體。
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